近期，国产光刻机音信时常。

　　上月，大家光刻机龙头ASML CEO 克里斯托弗富凯在收受采访时示意："中国如故在许多限制收场自主研发了，假以时日，他们以致可能反过来向咱们出口这些居品。"

　　同在上月25日，阐明中国政府采购网公告，上海微电子中标科技部1.1亿元光刻机面孔。

　　据报说念，上海微电子的28nm浸没式DUV光刻机（SSA800系列）已完成多轮工艺考据，整机国产化率迫害85%，套刻精度优于2.5纳米，2025年已参预批量拜托阶段。

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